高精密直线电动缸是一种直线运动电动缸,使用佳明智能装备所所购买的滚针式导柱“精密滚针导柱”。
精密直线导柱采用滚针作为滚动体,实现了高精度的直线性。因此,高精密直线电动缸是一种具有3个“1μm”的高精度、高刚性直线运动电动缸。
(1)反射镜和透镜微调;
(2)对准台X・Y・θ轴调整;
(3)相机对焦;
(4)试验装置;
(5)感应器调整;
(6)Z 轴平台定位;
以及步进曝光机等各种光学设备的透镜和反射镜 移动、微小角度调整、显微镜、望远镜的透镜和反射镜调整等。
所述传动装置包括传动外壳、传动主轴及连接头,所述传动外壳、传动主轴、连接头一体化成型,所述传动外壳的上方设置有若干防滑纹,且传动外壳的顶部边缘设置有至少八个螺母,所述传动主轴设置在传动外壳的上方,靠近所述传动主轴的外侧设置有主轴连接块,所述主轴连接块与传动主轴密封连接,所述主轴连接块通过螺丝方式固定在所述传动外壳上,所述连接头通过螺丝固定方式连接在传动主轴的下方;
所述推动杆包括丝杆、丝杆固定块和丝杆连接头,所述丝杆连接头通过焊接方式固定连接在所述丝杆的前端,所述丝杆连接头包括推杆和丝杆连接件,所述推杆上方设置有中空结构的圆孔,所述丝杆连接件上设置有紧固螺丝,且所述紧固螺丝刚好与推杆相互配合;
所述驱动电机为伺服电机,且所述驱动电机通过传动装置驱动推动杆。